Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний
На нашем сайте можно бесплатно скачать Руководящий документ ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007 в удобном формате. Узнать актуальный статус документа «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний» на 2016 год.
Скрыть дополнительную информацию
Страница 1
Страница 2
Страница 3
Страница 4
Страница 5
Страница 6
Страница 7
Страница 8
Страница 9
Страница 10
Страница 11
Страница 12
Страница 13
Страница 14
Страница 15
Страница 16
Страница 17
Страница 18
Страница 19
Страница 20
Страница 21
Страница 22
Страница 23
Страница 24
Страница 25
Страница 26
Страница 27
Страница 28
Страница 29
Страница 30
Страница 31
Страница 32
Страница 33
Страница 34
Страница 35
Страница 36
Страница 37
Страница 38
Страница 39
Страница 40
Страница 41
Страница 42
Страница 43
Страница 44
Страница 45
Страница 46
Страница 47
Страница 48
Страница 49
Страница 50
Страница 51
Страница 52
Страница 53
Страница 54
|
ФЕДЕРАЛЬНОЕ АГЕНТСТВО ПО ТЕХНИЧЕСКОМУ РЕГУЛИРОВАНИЮ И МЕТРОЛОГИИ |
|
|
НАЦИОНАЛЬНЫЙ |
ГОСТ Р исо |
|
{ fpr Т ] СТАНДАРТ |
14644-3— |
|
V у российской |
2007 |
|
ФЕДЕРАЦИИ |
|
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
Часть 3
Методы испытаний
ISO 14644-3:2005
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods
(IDT)
Издание официальное
f>
8
S
О
{gg с™ад^,8н*орм
8
I
ГОСТ Р ИСО 14644*3—2007
Предисловие
Цели и принципы стандартизации в Российской Федерации установлены Федеральным законом от 27 декабря 2002 г. N» 184-ФЗ «О техническом регулировании», а правила применения национальных стандартов Российской Федерации — ГОСТ Р1.0—2004 «Стандартизация в Российской Федерации. Основные положения»
Сведения о стандарте
1 ПОДГОТОВЛЕН Общероссийской общественной организацией «Ассоциация инженеров по контролю микрозагрязнений» (АСИНКОМ) на основе собственного аутентичного перевода стандарта, указанного в пункте 4
2 ВНЕСЕН Техническим комитетом по стандартизации ТК184 «Обеспечение промышленной чистоты»
3 УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Приказом Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 27 декабря 2007 г. № 616-ст
4 Настоящий стандарт идентичен международному стандарту ИС014644-3:2005 «Чистые помещения и связанные с ними контропируемые среды. Часть 3. Методы испытаний» (IS0 14644-3:2005 «Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3: Test methods»)
5 ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ
Информация об изменениях к настоящему стандарту публикуется о ежегодно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты», а текст изменений и поправок—в ежемесячно издаваемых информационных указателях «Национальные стандарты». В случае пересмотра (замены) или отмены настоящего стандарта соответствующее уведомление будет опубликовано в ежемесячно издаваемом информационном указателе «Национальные стандарты». Соответствующая информация. уведомление и тексты размещаются также в информационной системе общего пользования—на официальном сайте Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии в сети Интернет
© Стандартинформ. 2008
Настоящий стандарт не может быть полностью или частично воспроизведен, тиражирован и распространен в качестве официального издания без разрешения Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии
п
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007
Содержание
1 Область применения……………………………………………………………………..1
2 Нормативные ссылки……………………………………………………………………..1
3 Термины и определения……………………………………………………..1
4 Методы испытаний……………………………………………………………………….5
4.1 Методы испытаний чистых помещений . ……………………………………………….5
4.1.1 Обязательные методы…………………………………………………………….5
4.1.2 Дополнительные методы…………………………………………………………5
4.2 Характеристики методов испытаний……………………………………………………6
4.2.1 Определение концентрации аэрозольных частиц……………………………………6
4.2.2 Анализ воздушных потоков……………………………………………………….6
4.2.3 Перепад давления………………………………………………………………7
4.2.4 Целостность установленной системы фильтрации
4.2.5 Направление потока воздуха, визуализация потока
4.2.6 Однородность температуры и влажности…..
4.2.7 Статическое электричество и генерация ионов . .
4.2.8 Осаждение частиц……………..
4.2.9 Временя восстановления…………..
4.2.10 Герметичность ограждающих конструкций . . . .
5 Протокол испытаний……………………………………………………………………..8
Приложение А (справочное) Выбор методов испытаний чистых помещений и последовательность их
проведения ………………………………………………………………….9
Приложение В (справочное) Методы испытаний………………………………………………14
Приложение С (справочное) Оборудование для проведения испытаний…………………………38
Приложение D (справочное) Сведения о соответствии национальных стандартов Российской Федерации ссылочным международным стандартам………………………………..48
Библиография…………………………………………………………………………….49
1-752
ill
ГОСТ Р ИСО 14644*3—2007
Введение
Во многих отраслях промышленности и сферах действия человека предъявляются специальные требования к чистоте воздуха в помещениях. Эти требования выполняются за счет применения чистых помещений, в которых концентрация аэрозольных частиц не должна превышать установленных проделов. Значения этих пределов обусловлены особенностями технологических процессов, выполняемых в чистых помещениях, и требованиями к выпускаемой в них продукции. Чистые помещения широко применяются в электронной, космической, фармацевтической, пищевой промышленности, при производстве медицинских изделий, в больницах и т.п.
Настоящий стандарт устанавливает методы испытаний и контроля чистых помещений и может быть использован для установления определения параметров чистых помещений с учетом других стандартов серии ИС014644.
Примечание — Настоящий стандарт устанавливает не все методы контроля параметров чистых помещений. Методы контроля и оборудование для специфической продукции и процессов установлены в других стандартах, разработанных ИСО/ТК 209. Например, методы контроля при работе с живыми организмами — в стандартах серии ИСО 14648. оценки технологических характеристик чистых помещений — в стандарте ИСО 14644-4. методы контроля изоляторов — в стандарте ИСО 14644-7. Дополнительно могут использоваться и другие стандарты.
Международный стандарт ИС014644-3 подготовлен Техническим комитетом ИСО/ТК 209, «Cleanrooms and associated controlled environments — Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды»
Серия Международных стандартов ИС014644 имеет общее наименование «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды» и включает в себя следующие стандарты:
-14644-1 Классификация чистоты воздуха;
-14644-2 Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИС014464-1;
-14644-3 Методы испытаний;
-14644-4 Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию:
-14644-5 Эксплуатация;
-14644-6 Термины и определения;
-14644-7 Изопирующие устройства (укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения);
-14644-8 Классификация молекулярных загрязнений в воздухе.
IV
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
Часть 3 Методы испытаний
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 3. Test methods
Дата введения — 2008—10—01
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает метрологические характеристики и методы испытаний чистых помещений и чистых зон для определения класса чистоты. В стандарте приведены методы испытаний для двух типов чистых помещений и чистых зон (с однонаправленным и неоднонаправпенным потоком воздуха) и для трех состояний чистого помещения (построенное, оснащенное, эксппуатируемое).
Стандарт устанавливает требования к оборудованию и методикам испытаний. Для тех случаев, когда особенности чистого помещения или чистой зоны оказывают влияние на метод испытаний, предложены альтернативные методики. Для некоторых видов испытаний могут использоваться различные методики и типы оборудования. Альтернативные методы, не включенные в настоящий стандарт, могут применяться по соглашению между заказчиком и исполнителем. Альтернативные методы не всегда обеспечивают эквивалентность измерений.
В настоящем стандарте не рассматриваются методы испытаний продукции и технологических процессов в чистых помещениях ипи изолирующий устройствах.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты:
ИСО 7726:1998 Эргономика термальной среды. Приборы для измерения физических величин
ГОСТ ИСО 14644-1:1999 Чистые помещения и связанные с ними контропируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха
ГОСТ Р ИСО 14644-2:2000 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Требования к контролю и мониторингу для подтверждения постоянного соответствия ИСО 14644-1
ГОСТ Р ИСО 14644-4:2001 Чистые помещения и связанные с ними контропируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и ввод в эксплуатацию
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 Общая часть
3.1.1 чистое помещение (cleanroom): Помещение, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и испопьзуется так, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри помещения, и в котором, по мере необходимости, контролируются другие параметры, например, температура, впажность и давление [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.1)].
Издание официальное
2-752
1
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007
3.1.2 чистая зона (clean zone): Пространство, в котором контролируется концентрация аэрозольных частиц и которое построено и используется так. чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри зоны, и в котором, по мере необходимости, контролируются другие параметры, например, температура, влажность и давление [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.2)].
3.1.3 система чистого помещения (installation): Чистов помещение или одна или несколько чистых зон со всеми относящимися к ним структурами, системами подготовки воздуха, обслуживания и утилизации [ИСО 14644-1 (пункт 2.1.3)].
3.1.4 изолирующее устройство (separative device): Оборудование, которое за счет конструкционных или динамических свойств обеспечивает необходимое разделение внутреннего объема устройства и окружающей его среды.
Примечание — Примерами изолирующих устройств являются укрытия с чистым воздухом, боксы перчаточные, изоляторы и мини-окружения.
3.2 Аэрозольные частицы
3.2.1 генератор аэрозолей (aerosol generator): Устройство, позволяющее за счет теплового, гидравлического. пневматического, акустического или электростатического эффектов генерировать с постоянной концентрацией частицы, размеры которых соответствуют установленному диапазону (например, от 0.05 до 2 мкм).
3.2.2 аэрозольная частица (airborne partide): Взвешенный в воздухе твердый или жидкий объект, живой или неживой, с размерами, как правило, от 1 до 100 мм.
Примечание — Классификация частиц приведена в ИСО 14644-1 (пункт 2.2.1).
3.2.3 счетная медиана диаметров частиц; СМД (count median particle diameter, CMD): Усредненный диаметр частицы, полученный из распределения числа частиц.
Примечание — Счетная медиана определяется следующим образом: при распределении половина частиц в распределении имеет диаметр меньший, а другая половина — диаметр больший, чем счетная медиана.
3.2.4 макрочастица (macropartide): Частица с эквивалентным диаметром более 5 мкм [ИСО 14644-1 (пункт 2.2.6)].
3.2.5 М-дескриптор (M-descriptor): Полученное или заданное количество макрочастиц в 1 м3 воздуха. эквивалентный диаметр которых зависит от используемого метода измерения.
Примечание — М-дескриптор можно рассматривать как верхнее предельное значение для средних значений в точках отбора проб (или как верхнее значение доверительного интервала, в зависимости от числа точек отбора проб, используемых при проведении испытаний в чистом помещении или чистой зоне). М-дескриптор нельзя использовать для определения класса чистоты по аэрозольным частицам, но можно указывать отдельно или вместе с классом чистоты по аэрозольным частицам [ИСО 14644-1. (пункт 2.3.2)).
32.6 медиана диаметров частиц по массе (count median particle diameter, CMD): Диаметр частицы, определение которого основано на распределении массы частиц как функции их диаметра.
Примечание — Эта медиана определяется таким образом, что половина массы частиц в распределении имеет диаметр меньший, а другая половина — диаметр больший, чем массовая медиана.
3.2.7 концентрация частиц (particle concentration): Число частиц в единице объема воздуха.
3.2.8 размер частицы (partide size): Диаметр сферы, сигнал от которой в контрольном приборе, определяющем размер частиц, равен сигналу от оцениваемой частицы.
3.2.9 распределение частиц по размерам (particle size distribution): Кумулятивное распределение концентрации частиц в зависимости от их размеров [ИС014644-1, (подраздел 2.2.4)].
3.2.10 контрольный аэрозоль (test aerosol): Суспензия взвешенных в воздухе твердых и (или) жидких частиц с известными концентрацией и распределением по размеру.
3.2.11 U-дескриптор (U- descriptor): Полученное или заданное количество частиц, включая ультра-мелкие частицы, в 1 м3 воздуха.
Примечание — U-дескриптор можно рассматривать как верхнее предепьное значение для средних значений в точках отбора проб (или как верхнее значение доверительного интервала, в зависимости от числа точек отбора проб, используемых при проведении испытаний в чистом помещении или чистой зоне). U-дескриптор нельзя использовать для определения класса чистоты по аэрозольным частицам, но можно указывать отдельно или вместе с классом чистоты по аэрозольным частицам [ИСО 14644-1, (пункт 2.3.1)].
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007
3.2.12 ультрамолкая частица (ultrafine particle): Частица с эквивалентным диаметром менее 0.1 мкм [ИСО 14644-1 (пункт 2.2.5)].
3.3 Фильтры очистки воздуха и системы фильтрации
3.3.1 испытание с использованием аэрозоля (aerosol challenge): Испытание фильтра или установленной системы фильтрации при помощи контрольного аэрозоля.
3.3.2 допустимая утечка (designated leak): Максимально допустимый проскок частиц, установленный по соглашению между заказчиком и исполнителем как утечка, определяемая путем сканирования с помощью дискретного счетчика частиц ипи фотометра аэрозопей.
3.3.3 система разбавления (dilution system): Система, в которой аэрозопь с целью уменьшения концентрации частиц смешивается в известном соотношении объемов с воздухом, не содержащим частиц.
3.3.4 система фильтрации (filter system): Система, состоящая из фипьтра, рамы и других элементов крелпения фильтра или других фильтродержателей.
3.3.5 финишный фильтр (final filter): Фипьтр поспедней ступени очистки, через который проходит воздух, перед тем как попасть в помещение.
3.3.6 установленная система фильтрации (installed filter system): Система фильтрации, вмонтированная в потолок, стену, оборудование или воздуховод.
3.3.7 испытание целостности установленной системы фильтрации (installed filter system leakage test): Испытание, для проверки правильности установки фильтров, отсутствия утечек в обход фильтров, а также самих фильтров и их креппений на содержание дефектов и утечек.
3.3.8 утечка (leak): Проскок частиц, приводящий к превышению их ожидаемой концентрации после фильтра из-за нарушения целостности в системы фильтрации.
3.3.9 сканирование (scanning): Метод обнаружения утечек в системе фильтрации, при котором пробоотборником фотометра аэрозолей или дискретного счетчика частиц совершают перекрывающиеся движения вдоль определенной испытуемой плоскости.
3.3.10 стандартная утечка (standard leak penetration): Проскок, определяемый с помощью дискретного счетчика частиц или фотометра аэрозолей, имеющих стандартную скорость отбора проб, когда пробоотборник находится напротив места утечки.
Примечание — Значение проскока равно отношению концентрации частиц в воздухе после фильтра к концентрации частиц перед фильтром.
3.4 Поток воздуха
3.4.1 кратность воздухообмена (air exchange rate): Интенсивность обмена воздуха, определяемая как число обменов воздуха в единицу времени, равная отношению объема воздуха, подаваемого в единицу времени, к объему пространства, куда он подается.
3.4.2 средний расход воздуха (average aiflow rate): Среднее значение объема воздуха, подаваемого в единицу времени, используемое для определения кратности воздухообмена в чистом помещении или чистой зоне.
Примечание — Расход воздуха выражается в м3А<.
3.4.3 плоскость измерений (measuring plane): Плоскость поперечного сечения, в которой проводятся испытания или измеряется скорость потока воздуха.
3.4.4 неоднонаправленный поток воздуха (non-unidirectional airflow): Поток воздуха, распределение скоростей которого обусловлено вихревым перемешиванием воздуха, поступающего в чистое помещение или чистую зону, с внутренним воздухом [ИСО 14644-4 (пункт 3.6)).
3.4.5 расход приточного воздуха (supply aiflow rate): Объем воздуха, подаваемого в чистое помещение (чистую зону) через финишные фипьтры или воздуховоды в единицу времени.
3.4.6 полный расход воздуха (total aiflow rate): Объем воздуха, который проходит через чистое помещение (чистую зону) в единицу времени.
3.4.7 однонаправленный поток воздуха (unidirectional airflow): Поток воздуха проходящего с постоянной скоростью и имеющего приблизитепьно параллельные линии тока по всему поперечному сечению чистой зоны.
3.4.8 однородность потока воздуха (uniformity of aiflow): Характеристика однонаправленного потока воздуха, когда значения скоростей воздуха в различных точках находятся в установленных пределах относительно средней скорости потока воздуха.
2*
3
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007
3.5 Статическое электричество
3.5.1 время разряда (discharge time): Время, необходимое для уменьшения напряжения до начального уровня (положительного или отрицательного).
3.5.2 напряжение смешения (offset voltage): Электрический потенциал, накапливающийся на первоначально незаряженной изопированной проводящей пластине при помещении ее в ионизированный воздух окружающей среды.
3.5.3 рассеивание статического электричества (static-dissipative property): Снижение количества электростатического электричества на рабочей поверхности или поверхности продукта вследствие проводимости или других механизмов до установленного значения или нулевого уровня.
3.5.4 поверхностное напряжение (surface voltage tevel): Положительный или отрицательный электрический заряд на рабочей поверхности или поверхности продукта, накаппиваемый при ислопьзовании соответствующего оборудования.
3.6 Контрольно-измерительное оборудование и способы отбора проб
3.6.1 фотометр аэрозолей (aerosol photometer): Устройство, для определения массовой концентрации аэрозольных частиц, работа которого основана на принципе рассеивания света.
3.6.2 неизокинетический отбор проб (anisokinetic sampling): Условие отбора проб, при котором средняя скорость воздуха, поступающего в пробоотборник, значительно отличается от средней скорости однонаправленного потока воздуха в точке отбора пробы.
3.6.3 каскадный импактор (cascade impactor): Устройство для отбора проб, в котором накапливаются частицы, отбираемые из аэрозоля, на серии накопительных пластин, используя принцип импакции (осаждения).
Примечание — Через каждую последующую накопительную пластину поток аэрозоля проходит с большей скоростью, чем через предыдущую, в результате чего на ней осаждаются более мелкие частицы, чем на предыдущей накопительной пластине.
3.6.4 счетчик ядер конденсации (condensation nucleus counter. CNC): Устройство, которое позволяет увеличивать размеры ультрамелкой частицы за счет эффекта конденсации с целью их последующего счета с использованием оптических методов счета частиц.
3.6.5 эффективность счета (counting efficiency): Отношение полученной концентрации частиц в определенном диапазоне размеров к действительной концентрации таких частиц.
3.6.6 дифференциальный анализатор подвижности (differential mobility analyzer, DMA): Устройство. позволяющее получить распределение частиц по размеру, работа которого основана на принципе подвижности частиц в электрическом поле.
3.6.7 секция диффузионной батареи (diffusion battery element): Элемент многоступенчатого устройства для сортировки частиц по размерам, использующий эффект диффузии для удаления наименьших частиц из потока аэрозопя.
3.6.8 дискретный счетчик частиц (discrete-partide counter. DPC): Устройство, для счета частиц в определенном объеме воздуха в зависимости от их размера.
3.6.9 фоновый счет (false count, background noise count, zero count): Резупьтат счета частиц дискретным счетчиком, получаемый при отсутствии частиц, вызванный влиянием внешних и внутренних электронным наводкам.
3.6.10 расходомер с раструбом, расходомер (flowhood with flowmeter): Устройство, попностью накрывающее фильтр или диффузор, с оборудованием для прямого измерения расхода воздуха через каждый финишный фильтр или воздушный диффузор в чистом помещении ипи чистой зоне.
3.6.11 изоаксиальный отбор проб (iso-axial sampling): Отбор проб, при котором направление воздушного потока на входе в пробоотборник совпадает с направпением однонаправленного потока, подлежащего отбору.
3.6.12 изокинетический отбор проб (isokinetic sampling): Отбор проб, при котором средняя скорость воздуха, входящего в пробоотборник, равна средней скорости однонаправленного потока в точке отбора.
3.6.13 устройство, ограничивающее пропускание мелких частиц (particle size cutoff device): Устройство, помещаемое на входе в дискретный счетчик частиц или счетчик ядер конденсации для удаления частиц размером менее установленного.
4
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007
3.6.14 пороговый размер (threshold size): Минимальный размер частицы, выбранный для определения концентрации частиц с размерами, большими или равными этому значению.
3.6.15 определение размера частицы по времени пролета (time-of-flight particle size measurement): Определение аэродинамического диаметра частицы путем измерения времени, необходимого для ее прохождения расстояния между двумя плоскостями.
Примечание — Это измерение основано на эффекте изменения скорости частиц, попадающих в поток с градиентом скорости воздуха.
3.6.16 виртуальный импактор (virtual impactor): Устройство для разделения по размеру частиц, которые под действием внутренних сип сталкиваются с предполагаемой (виртуальной) поверхностью.
Примечание — Большие частицы проходят через некоторую предполагаемую поверхность в пространстве стандартного объема, в то время как маленькие частицы отклоняются вместе с основной частью воздушного потока.
3.6.17 демонстрационная пластина (witness plate): Чувствитепьный к загрязнениям материал с определенной площадью поверхности, используемый вместо прямого измерения загрязнения поверхности, которая находится в недоступном месте или слишком чувствительна для прямого измерения.
3.7 Состояния чистого помещения или чистой зоны (Occupancy states)
3.7.1 построенное (as-built): Состояние, в котором монтаж чистого помещения завершен, все обслуживающие системы подключены, но отсутствует производственное оборудование, материалы и персонал [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.1)].
3.7.2 оснащенное (at-rest): Состояние, в котором чистое помещение укомплектовано оборудованием и действует по согпашению между заказчиком и испопнителем. но персонал отсутствует. [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.2)).
3.7.3 эксплуатируемое (operational): Состояние, в котором чистое помещение функционирует установленным образом, с установленной численностью персонала, работающего в соответствии с документацией [ИСО 14644-1 (пункт 2.4.3)).
4 Методы испытаний
4.1 Методы испытаний чистых помещений
4.1.1 Обязательные методы
Определение концентрации аэрозольных частиц (см. таблицу 1) должно проводиться для оценки класса чистого помещения в соответствии с ИС014644-1 с периодичностью, установленной ИС014644-2.
|
Таблица 1 — Обязательные методы для чистых помещений или чистых зон |
|||||||||||||
|
|||||||||||||
4.1.2 Дополнительные методы
В таблице 2 указаны другие методы испытаний чистых помещений. Эти испытания могут проводиться в каждом из трех состояний чистого помещения. Эти методы не являются исчерпывающими. Не все из приведенных методов могут быть включены в программу испытаний. Программа и методы испытаний выбираются по согласованию между заказчиком и исполнителем. Выбранные испытания могут повторяться периодически при текущем контропе (см. ИС014644-2). Перечень методов испытаний и руководство по выбору методов приведен в приложении А. Описание методов испытаний, приведено в припожении В и имеет пишь общий рекомендательный характер. Детально методы испытаний должны быть разработаны с учетом специфики их конкретного применения.
3—752
5
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007
|
Таблица 2 — Дополнительные методы для чистых помещений или чистых зон |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
4.2 Характеристики методов испытаний
4.2.1 Определение концентрации аэрозольных частиц
Это испытание проводится для определения чистоты воздуха и может включать в себя:
a) классификацию [см. В.1 (приложение В)];
b) определение концентрации ультрамелких частиц (дополнительный метод) [см. В.2 (приложение
В)];
c) определение концентрации макрочастиц (дополнительный метод) [см. В.З (приложение В)]. Испытания Ь) и с) могут быть использованы для получения дополнительной информации или как
основание для предъявления специальных требований, но не могут быть использованы для целей классификации.
4.2.2 Анализ воздушных потоков
Это испытание проводится для определения расхода приточного воздуха в чистых помещениях или чистых зонах с неоднонаправленным потоком и для определения распределения скорости воздуха в чистых помещениях или чистых зонах с однонаправленным потоком. Обычно проводятся измерения либо скорости, либо расхода воздушного потока, а результаты выражаются одним из трех параметров: средней скоростью, средним расходом или полным расходом воздуха. Полный расход воздуха может быть, в свою очередь, быть использован для расчета кратности воздухообмена для чистых помещений или чистых зон с неоднонаправленным потоком воздуха. Скорость воздуха должна определяться в чистых помещениях или чистых зонах с однонаправленным потоком. Методики измерений воздушного потока приведены в В.4 (приложение В).
6
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007
4.2.3 Перепад давления
Цель измерения перепада давления — подтвердить способность чистого помещения поддерживать разность давлений между чистым помещением и окружающей средой. Измерение перепада давления следует проводить после того, как установлено соответствие требования к скорости, расходу, однородности и другим контролируемым параметрам воздушного потока. Подробнее процедура измерения перепада давлений приведена в В.5 (приложение В).
4.2.4 Целостность установленной системы фильтрации
Это испытание проводится для того, чтобы подтвердить, что финишная высокоэффективная система фильтрации установлена надлежащим образом. В ходе испытаний не должно быть обнаружено утечек в обход фильтров, отсутствия дефектов фильтра (маленьких отверстий или других повреждений в теле фильтра и местах его примыкания к раме), утечек (через раму фильтра, посадочное место и конструкции крепления). При испытаниях не проявляется эффективность системы фильтрации. Испытания выполняются путем подачи контрольного аэрозоля на вход фильтров и одновременного сканирования поверхности фипьтров и их креплений или осуществления отбора пробы после фильтров в воздуховоде. В В.6 (приложение В) приведены два различных метода испытаний.
4.2.5 Направление потока воздуха, визуализация потока
Цель данного испытания — подтвердить, что направление потока, картина распределения потоков или и то и другое соответствуют проекту или соответствующей спецификации. При необходимости пространственные характеристики воздушного потока могут быть также подтверждены. Методика испытаний приведена в В.7 (приложение В).
4.2.6 Однородность температуры и влажности
Цель данных испытаний — показать способность системы вентиляции и кондиционирования поддерживать в зоне испытаний уровень температуры и влажности (выраженной относительной влажностью или точкой росы) в заданных предепах в течение периода времени, установленного заказчиком. Методики испытаний приведены в В.8 и В.9 (припожение В).
4.2.7 Статическое электричество и генерация ионов
Целью испытаний является определение уровней статического напряжения на различных предметах. способности материалов рассеивать статическое электричество и характеристик генераторов ионов (ионизаторов), использующихся для регулирования статического напряжения в чистых помещениях. При измерении статического электричества определяются статическое напряжение на рабочих поверхностях и поверхностях продукта, способность полов, поверхностей рабочих мест и других объектов, рассеивать статическое электричество. Исследование генерации ионов выполняется для оценки способности ионизаторов снижать статическое напряжение на поверхностях. Методика испытаний приведена в В.10 (приложение В).
4.2.8 Осаждение частиц
Целью испытания являются оценка количества (числа или массы частиц) или влияния (по рассеянию света или покрытию поверхности) частиц, осевших на поверхность. Некоторые из методик испытания приведены в В.11 (приложение В)
